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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。無塵車間室內(nèi)空氣經(jīng)處理后，所含微粒數(shù)少于一定數(shù)量要求，一般分十萬級、萬級、千級等，即室內(nèi)每立方米空間的微粒數(shù)不大于十萬、一萬、一千個(gè)……目前，無塵車間已經(jīng)在電子、光學(xué)、精密儀器、注塑等行業(yè)里廣泛使用。
無塵車間在設(shè)計(jì)時(shí)一定要符合生產(chǎn)工藝過程的要求。不管是上工序還是下工序，兩者間的運(yùn)輸距離要短，盡量避免迂回和往返運(yùn)輸。車間的地面要用堅(jiān)固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制；墻面則要鋪有2米以上的墻裙，墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅(jiān)固、不滲水的材料鋪制及用淺色，防水、無毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。
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